フォトマスク基板検査装置『Torin G8／G10』

測定範囲は最大2100×2000mmまで可能！パソコンにてサーボモータ…

平面度を対向する2基の半導体レーザが高精度に計測する フォトマスク基板検査装置です。 測定範囲は最大2100×2000mmまで可能。 主定盤、コラム、スライド部はすべてインド産黒ミカゲ石を使用し、計測に 重要な計測軸にはエアーベアリングが採用されています。 【特長】 ■2基の半導体レーザが高精度に計測 ■計測に重要な計測軸にはエアーベアリングを採用 ■1基の光学プロー...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社