1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

自動搬送カセットクリーンオーブン

一度に1セット分を処理できる！搬送機付自動カセットクリーンオーブンのご…

搬送方式は自動または手動が可能で、クリーンオーブン内温度はMAX140℃。 外形寸法は2590（W）×1400（D）×2400（H）となっております。 【主な仕様】 ■処理ウェハ：8”石英ウェハ25枚入りカセット×6 ■搬送方式：自動／手動 ■クリーンオーブン内温度：MAX140℃ ■クリーンオーブン内清浄度：クラス10　0.3μmRTにて ■外形寸法：2590（W）×140...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学