フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

アクアスチームヒーターの制御に『温度制御BOX TCB-200』

アクアスチームヒーターの制御に使用できる温度制御BOXです。温度センサ…

(SSR)を 1つのケースに収めたコンパクトなポータブル温度コントロールです。 当社の気体加熱器クリーンホットやアクアスチームヒーターと 組み合わせて使用することで利便性が向上。 研究室での実験や工場でのメンテナンス用、各分野での加工工程 などの幅広い分野の使用にも威力を発揮します。 【特長】 ■温度センサとヒーター、電源をつなぐだけで手軽に温度制御可能 ■温度調節器...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社