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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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新規化合物や特別仕様の化合物などを試薬レベル(mg,mL)からオーダー…
【その他特長】 ■文献記載の化合物やCAS番号のない新規化合物、製法が不明な化合物なども応相談 ■研究室で使用するサイズの少量合成に対応 ■Kgへのスケールアップも応相談 ■純度を始め、様々な規格・ご要望に対応 ■合成から分析まで一貫対応が可能 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか...
メーカー・取り扱い企業: 東京化成工業株式会社
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