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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【VOCを低減】悪臭・有害ガスを撃退!強力脱臭装置※事例集進呈中
PR電源があれば設置可能!大掛かりな配管工事が不要で、煙草、シンナーや有機…
シューマンの脱臭装置(脱臭機)は、アンモニア臭や硫化水素はもちろんのこと、活性炭では除去しにくい高濃度の「アルデヒド類」を低濃度まで吸収します。工場などの広い作業場、オフィスや店舗などに導入実績あります。お客様の工場にてデモ機による脱臭実験も行っております。 【特長】 ■大掛かりな配置工事が不要 ■ほぼすべての悪臭物質・有毒ガスを吸着 ■「なるほど」と実感できる脱臭力 ■シンプルな構...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シオガイ精機
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技術図書『スマートメーターシステム』 *試読できます。
<刊行日>2011年4月11日 <体裁>B5判、約96頁 <価格>29,400円(税込) <執筆者> 馬郡文平(第1章) 東京大学 生産技術研究所 野城研究室 特任研究員・産学官連携研究員 迫 博司(第2章) 株式会社エービル 成長知能本部 上席エンジニア 長田英知(第3章) 日本アイ・ビー・エム株式会社 公共IBDT Energy...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トリケップス
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