フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ヒートレスドライヤー『HLK Series』（小型）

-73℃露点を供給可能！ 小型壁掛けタイプ。

トタイプの ヒートレスドライヤーです。 -73℃露点が供給可能です！ ステンレス材をチャンバーに採用。 LEDランプにて使用側チャンバーを確認できます。 産業用途のみならず、研究室の分析工程・研究開発等の用途に適しています。 【特長】 ■シャトルバルブを採用した非常にシンプルな構造 ■シャトルバルブは50万回以上の動作試験を実施 ■電源が断たれても連続してエアー...

メーカー・取り扱い企業： 日機装株式会社 インダストリアル事業本部（ドライヤー関連）