【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

液体を微少量×定量供給！モーノポンプ マイクロリットルシリーズ

PR研究・開発用途での微少量×連続定量注入を実現！スラリー対応の微少量用ポ…

『モーノポンプ マイクロリットルシリーズ』は、微少量の連続定量注入を実現する高性能ポンプで、 シビアな吐出精度が求められる塗工機への供給や、研究・開発用途で活躍します。 固形分を含んだ液体でも、液性を変えることなく定量吐出することが可能なほか、 部品点数が少ないシンプル構造で、簡単に分解・洗浄することができます。 また、時間あたりの吐出量が回転速度に比例するので、モーターの制御だけ...

メーカー・取り扱い企業： 兵神装備株式会社 東京支店

『ASM Epsilon用温度センサー』

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、 ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、 従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました！ “EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの 製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。 この新しいコーティン...

メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社

分流式精密恒湿発生装置 SRH シリーズ (SHINYEI)

分流法を駆使し、超精密な温湿度環境を再現するSRHは湿度計測技術を支え…

分流法を駆使し、超精密な温湿度環境を再現するSRHは湿度計測技術を支える、高精度な恒湿空気発生装置です。湿度センサの研究開発用原器として、また、さまざまな先端分野における湿度制御の基準として、世界で数多くの使用実績を誇る最高峰の基準湿度発生装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神栄テクノロジー株式会社