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EDS(EDX)・EPMA・XMA用導電処理・FIB用保護膜作成・カー…
試料室サイズ=内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。 試料台サイズ=直径100mm、蒸発源に対し30mm上下可能。 蒸発源と試料台の間隔=45mm~75mm間に任意調節可能。 蒸着電源=OUTGAS、EVAPOの2段階...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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