- 製品・サービス
1件 - メーカー・取り扱い企業
企業
29件 - カタログ
100件
絞り込み条件
製品分類
メーカー・取扱い企業
-
-
スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備!各試料ホルダーへ…
『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、 あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を 超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、 試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コメット
- 表示件数
- 60件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。