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空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計
エア膜を介す非接触測定でワーク損傷が無い。 スケール分解能20nm。 高再現性±2σ=±0.2μm。 測定物の材質を問わない。 環境性が高く高温多湿であっても測定可能。 測定範囲は10ミリ。可動範囲は16ミリ。 粗い面でもφ0.5ミリポットで平均化測定。...空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計。 固体例:粘着テープ 液晶ガラス セラミ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エスイーエス研究所
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