非接触超精密エアサーボ測長器

空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計

エア膜を介す非接触測定でワーク損傷が無い。 スケール分解能２０ｎｍ。 高再現性±２σ＝±０．２μｍ。 測定物の材質を問わない。 環境性が高く高温多湿であっても測定可能。 測定範囲は１０ミリ。可動範囲は１６ミリ。 粗い面でもφ0.5ミリポットで平均化測定。...空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計。 固体例：粘着テープ 　　　　　液晶ガラス 　　　　　セラミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスイーエス研究所