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解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応。UV-LED光源を…
『CMS(Cerma Micro Stepper)-Ck』は、650×550mmの フルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。 標準光源として、UV-LED光源を採用。 解像力(L/S)が2μmのインターポーザーをはじめ、 高精細・高精度・高生産性を要求される用途に適しています。 【特長】 ■L/S=1.4/1.4μmからの量産プロセスに対応 ■ダイ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーマプレシジョン
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