- 製品・サービス
1件 - メーカー・取り扱い企業
企業
10件 - カタログ
120件
絞り込み条件
-
-
反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…
ェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有している為、従来の吸着面に1.5mm程度の溝を掘って吸着するチャックと比較し、溝部分に集中する吸着圧力を分散させる事ができ、薄物のワークなどの変形をおさえて吸着する事が可能です...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
- 表示件数
- 30件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。