ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

耐プラズマ材料　Y2O3(イットリア)

部材の高寿命化､パーティクルの抑制　耐プラズマ材料　Y2O3(イットリ…

半導体製造工程でのドライエッチングやプラズマCVDプロセスでは腐食性の強いハロゲンガスを用いるため、チャンバー付近の部材に耐プラズマ性が要求されます。 耐プラズマ部材を使用することにより、部材の浸食を抑制し、パーティクル発生を低減します。 時田CVDシステムズは、耐プラズマ材料として注目の酸化イットリウム(Y2O3-イット...

メーカー・取り扱い企業： 時田シーブイディーシステムズ株式会社

高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結…

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体です。 【特徴】 ・各種産業用構造部品として幅広く利用 ・吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体 ・優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性 ・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている ・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する 【ADSの用途】 ・エッチング、アッシン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

超高純度CVD-SiC「ソリッド SiC」

半導体装置に最も適した材料！様々な用途で発揮されるソリッド SiC

ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。 ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD技術を応用し開発されました。 半導体装置に最適化され、半導体の可能性を拡げる材...

メーカー・取り扱い企業： 東海カーボン株式会社

高電圧コネクタ&高電圧編組シールド付きケーブル

小型！ワンタッチで抜き差し可能！最大50kVDC対応のプッシュプルコネ…

レモ『高電圧コネクタ』は、最大50kVDC対応の小型・高品質・高信頼性の製品です。 半導体製造装置のプラズマ電源や、PZTドライバーでも多数のコネクタをご使用いただいております。 当社特有のプッシュプル構造により抜き差しが簡単、SHV型やMHV型 コネクタより小型で省スペースでの設置が可能。 屋内用の非防水タイプのほか、IP66/68 対応の防水タイプ、気密ソケット/ 気密カ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

高熱伝導率、高電気絶縁性『窒化アルミ（AlN)』

高熱伝導率で高電気絶縁性の『窒化アルミ』は高熱伝導基板用材料としても注…

・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える ・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する ・フッ素系ガスの耐食性が大きい ・耐プラズマ性に優れている ※詳しくはカタログ・HPをご覧いただくか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社清水商会

光学薄膜部品　干渉フィルター

薄膜の界面で発生する反射光の干渉現象を利用し、特定の波長を任意に選択透…

吸収型の色硝子、ゼラチン等のフィルターと比較して透過する帯域を狭く限定できますので、 コントラストのきわめて明瞭なフィルターが得られます。 ...【製品ラインナップ】 ◯MIF-S（金属干渉フィルター） 　２つの金属膜の光学的な間隔が、特定の波長の1/2またはその整数倍のときに 　その光をもっとも多く透過し、他の光を殆ど透過しない ◯MIF-W（金属干渉フィルター） 　MIF-S型干...

メーカー・取り扱い企業： 日本真空光学株式会社

プラズマイオンコートバンドパスフィルターPIF-BPF Type

さまざまなオプティカルニーズに応える、日本真空光学

薄膜の界面で発生する反射光の干渉現象を利用し、特定の波長の光を選択透過させることができるフィルターです。...【特徴】 ○プラズマイオンプロセスを用いて作製したフィルターです。 ○耐久性・耐環境性に優れたフィルターです。 ○吸収型の色硝子、ゼラチン等のフィルターと比較して透過する帯域を狭く限定できるので、 　コントラストのきわめて明瞭なフィルターが得られます。 ●詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 日本真空光学株式会社