高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

手動Tダイのロボットアーム

専用のロボットアームを設置！貴社の手動Tダイを自動化します

アクスモールディング株式会社が取り扱う『手動Tダイのロボットアーム』を ご紹介します。 現在使用しているTダイと押出機の間に、専用のロボットアームを設置。 膜厚計で膜厚データを読み取り、膜厚調整が必要な個所に自動で アームが移動します。 そして、ネジ締め機で調整を行います。 【特長】 ■貴社の手動Tダイを自動化 ■現在使用しているTダイ...

メーカー・取り扱い企業： アクスモールディング株式会社

『ロボダイ』省人化・ノウハウの蓄積・トラブル時の再稼働短縮に貢献

完全自動で膜厚を制御（手動レス）！粗調整のプロファイルをデータ記憶させ…

アクスモールディング株式会社が取り扱う『ロボダイ』をご紹介します。 モータでボルトを動かし1分間で大まかに膜厚の粗調整。 そこからヒートボルトで精密な調整をします。 粗調整のプロファイルをデータ記憶させることで、省人化だけでなく、 ノウハウの蓄積、トラブル時の再稼働までの時間の短縮、立ち上げ時の...

メーカー・取り扱い企業： アクスモールディング株式会社