高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

クラックレス硬質アルマイト

アルミの可能性を最大化！求められる特性に合致するクラックレス硬質アルマ…

て製造現場での 製品の徹底した品質管理が求められています。 また、製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの 締結部品はアルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜が クラック・欠落してしまう問題があります。 半導体製造分野では通常のアルマイトとは違う350℃まで対応できる 『クラックレス硬質アルマイト』で皮膜剥がれによる粉塵の発生・混入を 防止し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イコール 本社・営業部