厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ

PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。　　 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

CZウェーハ　エピ受託加工　SiGeエピウェーハ　他

PR小ロットからの対応可能です。特殊なエピ、多層エピなどにも出来るだけ対応…

「エピウェーハ」 1. ディスクリートデバイス向けや IC powerデバイス向けに使用されております。 ＊直径: 100-200 mm ＊Epi層ドーパント: Boron 、Phosphorous ＊Epi層抵抗値: 0.01-500 Ω/cm ＊Epi厚: 1-150 um ＊Stacking fault: 10 /cm2 以下 ＊Thickness Uniformity: ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

【デモ可能】化合物半導体材料の組成比の評価も可能！非接触・非破壊でエピ…

『分光エリプソメーター』は、非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値、 屈折率、消衰係数を精度良く測定する薄膜評価装置です。 化合物半導体材料の組成比の評価も可能。 主な評価・測定項目は、“薄膜の膜厚値”、“エピ膜厚値”、“屈折率”、 “消衰係数”...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

光学式細孔率・細孔分布測定装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔…

【アプリケーション】 ・Low-k膜の細孔率測定 ・色素増感太陽電池のTiO2細孔率測定 ・細孔サイズ（0.5~65nm)、厚さ（50nm～５um)のサンプル 【特徴】 ・膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率、CTE計測も測定可能 ・従来の方式に比べ、短時間での測定が可能（２０分/point) 【仕様】 ・測定可能細孔サイズ（直径）；0.5~65nm ・スポ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

薄膜太陽電池パネル測定装置

薄膜太陽電池パネル測定装置

太陽電池で必要な様々な光学系、電気系測定が1台で可能です。 　- 分光エリプソ(膜厚、光学特性) 　- ライフタイム測定 　- シート抵抗測定 　- 比抵抗測定 　- ラマン分光 第10世代パネル対応まで対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社