メッキ塗装システム『インジウム ミラーコーティングシステム』

PRメッキ皮膜をスプレー塗装で実現。ミリ波透過や、多彩な色調・質感のニーズ…

『インジウム ミラーコーティングシステム』は、 導電性や透過性を有するレアメタルを加工した「インジウム塗料」のスプレー塗装により、 メッキ塗装の量産化を実現した生産システムです。 高速回転により薄膜塗装を実現する「Rの技術」と制御ソフトによる数値化された膜厚制御で、 塗料のミリ波透過性を活かした塗装や、環境負荷・塗料使用料の低減といったニーズに対応。 ロボット、自動スプレーガン、...

メーカー・取り扱い企業： タクボエンジニアリング株式会社 営業本部／東金テクニカルセンター

電気自動車用バッテリー向けレーザ溶接/光計測ソリューション

PR高精度・高速光計測センサ、レーザ溶接、溶接中モニタリングなどバッテリー…

■光計測センサ 　・Enovsaense - 不透明体の厚み測定 　　　バッテリーのグラファイトコーティング厚み 　・Field Sensor - 内部欠陥検査 　　　溶接内部の欠陥をエリア検査 　　　(クラック、ブローホール、ピンホールなど）　 　・デュアルポイントセンサ(DPS) - 電極厚み測定 　　　距離センサ2個の挟み込みによる高速・高精度測定 　・FSS -...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

［XRR］X線反射率法

XRR：X-ray Reflectivity

、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 （2～300nm 程度） ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下） ・非破壊で分析が可能 ・約10...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

料として研究開発が進んでいます。 IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することができました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST