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インライン膜厚分布測定装置「フィディカ(FiDiCa)」のご案内
薄膜による干渉光をイメージング分光器で測定した世界初のインライン膜厚分…
イメージング分光カメラ(ハイパースペクトルカメラ)により、線状領域の反射光を分光して2次元の画像として出力します。 モノクロカメラと接続することで同時に多くの点の分光データを採取できます。...■装置仕様 膜厚レンジ:50nm~1000nm 100nm~5000nm 1000nm~100000nm 測定サイズ:視野幅:50mmから2000mmまでで任意に設定可能 測定長:...
メーカー・取り扱い企業: JFEテクノリサーチ株式会社
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