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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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SCR(サイリスタ)で電力制御を行うヒーターの安全確保に! 専用カス…
短絡事故発生時に火災など大事故に繋がる危険性があるヒーター(電気炉や蒸着装置)は複巻トランスで絶縁させて安全確保しましょう。 1.ヒーターに合わせた電圧レンジで電力を調整! 低電圧のヒーターは、標準出力電圧の電力調整器では電圧の範囲が制限されるため、適切に調整でき...
メーカー・取り扱い企業: 布目電機株式会社
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