蒸着装置 | イプロスものづくり

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

卓上型高真空蒸着装置ＶＥ－２０１３

卓上小型サイズの高真空蒸着装置です。カーボン蒸着・金蒸着・アルミ蒸…

★ VE-2013はVE-2030（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。 ★ TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません（RPは床置き）。 ★ 小型TMP＋RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

真空蒸着装置ＶＥ－２０３０

１歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。清浄高真空蒸着装置。

真空蒸着装置ＶＥ－２０３０はターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。TMPはロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。清浄高真空...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）

シンプル　コンパクト　高機能　実験、基礎研究に最適　ユーザーニーズに応…

標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション社内デモ機にてサンプルテスト対応...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

大型蒸着装置（ＡＡＨ型　自動車部品用）

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　…

のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。高い安定性を備えた全自動蒸着装置。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了ま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

実験用小型真空蒸着装置

MAX10V-150Aのパワーと大容量のLN2トラップを備え迅速な試料…

電源は別置きとなっています。排気系はターボ分子ポンプに変えることも可能です。カスタムオーダーにも対応可能です。多元蒸着装置・大型装置も製作可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させること...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

有機EL用簡易蒸着装置

有機薄膜簡易蒸着装置

●特徴・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...●特徴・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

破面蒸着保護膜形成装置

材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護！破面の各種分析を行う事が可能

『破面蒸着保護膜形成装置』は、各種金属、合金材料などを極高真空中（X10-9Pa）で低温（～100K）にして機械的衝撃により破断させた後直ぐに破面にNi等の真空蒸着を行う為に開発された装置です。これに、材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護することが出来るため 3次元アトムプロープ観察等による破面の各種分析を行う事ができます。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

真空蒸着サービス

他の追随を許さない技術でお客様に御満足いただける製品を提供いたします！

当社では、主にアルミニウム蒸着による自動車ランプのリフレクター・レンズ・装飾部品、さまざまな照明器具用の反射鏡、家電部品、ホビー等の蒸着をおこなっております。社内蒸着資格を持った技能員による条件設定と生産、標準作業遵守の励行により安定した高品質蒸着品を提供。蒸着技能員、塗装技能員、検査技能員の連携により、常に高品質な仕上がりを追求しつづけます。ご要望の際はお気軽...

メーカー・取り扱い企業：旭真空株式会社

有機材料用蒸着源 Creaphys DEシリーズ

R＆Dや少量生産用にデザインされた有機材料用蒸着源です。 50℃から8…

有機材料用蒸着源 Creaphys DEシリーズ R&Dや少量生産用にデザインされた蒸着源エバポレーターです。・50℃から800℃まで広範囲の温度領域で安定した使用が可能・超高真空での使用も可能・既存の装置にも用意されたオプションで対応可能（シャッター、水冷、各種フランジ、温度制御など）詳細はお問合せください。また複合型蒸着源についてもお問合せください。 ......

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。【特長】 ■エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

真空蒸着メッキ加工サービス

仏具・玩具・アミューズメント部品・自動車部品への真空蒸着メッキ加工！

当社では、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱し、溶融・蒸発または昇華させ、基材や基板の表面に蒸発・昇華した粒子（原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する『真空蒸着メッキ加工』を行っております。仏具をはじめ、玩具、アミューズメント部品など様々な製品への加工を手掛けております。【主な加工品】 ■仏具 ■玩具 ■パチンコ部品 ■自動車部品 ■照明器...

メーカー・取り扱い企業：有限会社新正加工

ブライン冷却・加熱装置『マック・冷温媒ユニット』

新冷媒対応！用途に合わせたデザイン設計製作を承ります！

『マック・冷温媒ユニット』は、巻取り式真空蒸着装置や各種試験装置などの用途に応じた高効率なプレート式冷却器を使用した冷温媒です。加熱ヒーターを装備しており、冷却加熱の完全自動化制御を可能にします。【特長】 ■用途に応じた...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マック