小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

グローブボックスー真空蒸着装置　真空搬送試料ホルダー

水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホル…

グローブボックスと真空蒸着装置の間に試料を大気に晒さずに真空搬送することができます。 特　徴： ・真空チャンバー構造を有する試料ホルダー ・コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能 ・グローブボックス中...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ

真空蒸着加工サービス

成形、蒸着の一貫ラインで高品質なモノづくりを確立しています。 塗装ブ…

当社では、真空蒸着加工を承っております。 2000年に品質管理の国際規格であるISO9001の認証を取得し、グローバル スタンダードレベルの品質管理体制を整えた工場内では、先進の検査機器を 導入するとともに､専門スタッフによる厳重な品質管理活動を展開しています。 品質基本方針において、より厳しい品質目標を設定し、それを実現することで お客様から高い信頼を得ています。 【主要...

メーカー・取り扱い企業： 川口真空株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

真空蒸着メッキ加工サービス

仏具・玩具・アミューズメント部品・自動車部品への真空蒸着メッキ加工！

当社では、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱し、 溶融・蒸発または昇華させ、基材や基板の表面に蒸発・昇華した粒子 （原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する 『真空蒸着メッキ加工』を行っております。 仏具をはじめ、玩具、アミューズメント部品など様々な製品への加工を 手掛けております。 【主な加工品】 ■仏具 ■玩具 ■パチンコ部品 ■自動車部品 ■照明器...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社新正加工

金属・金属酸化物・誘電体膜対応　薄膜コーティング

金属・金属酸化物・誘電体膜対応　薄膜コーティング

フォトファブリケーションを中心的技術として、 マイクロエレクトロニクス製品や光学製品をはじめとする様々な分野での 試作・開発に貢献するフォトプレシジョン社 『薄膜コーティング』のご案内です。 ほとんどの金属・金属酸化物をコーティングすることが可能！ ■□■特徴■□■ ■抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、スパッタリング装置を 　社内に保有 ■抵抗過熱真空蒸着 　...

メーカー・取り扱い企業： フォトプレシジョン株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチン...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

吉城光科学の技術『蒸着』

限りない光への挑戦！反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで加工してい…

吉城光科学の『蒸着』技術をご紹介します。 反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで顧客ニーズに合わせ加工。 また、膜設計を自社で行いニーズに応えております。 オリジナルミラー(UHR)を創め、ガラス基板以外へのコーティングを 研究開発しております。 【主要設備（抜粋）】 ■真空蒸着機（AL） ■真空蒸着機（φ1300） ■真空蒸着機（φ1900）IAD ■真空蒸着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉城光科学 本社

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【洗浄事例動画】治具の金属蒸着

グラインダーで削るなど母材へのダメージを押さえた洗浄が可能！治具や加工…

動画の洗浄品 治具(材質：アルミ) 【洗浄メリット】 ■廃棄処理や騒音問題が無く、環境負荷に特化 ■洗浄時間や、除去後の処理などトータル工数の削減 ■ランニングコストは電気代のみ！(１Hあたり/＠10円以下) ■コンパクトサイズ！キャスター付で大型の洗浄物にも対応 ...基本情報【洗浄事例】金属蒸着 【レーザクリーニング装置の特長】 ■レーザー光による非接触のドライ洗浄 ...

メーカー・取り扱い企業： 東成イービー東北株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【表面処理】発塵防止付与　半導体製造装置関連

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸…

■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...

メーカー・取り扱い企業： 富士岐工産株式会社

イオンプレーティング成膜

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術か…

イオンプレーティング法は、真空蒸着法の発展型です。 真空蒸着法と同じように、膜にしたい材料を真空中で蒸発（あるいは昇華）させ、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させます。 イオンプレーティング法の特徴は、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、 基板側にマイナスの電荷を印加することで、蒸発粒子を引き付けて基板上に堆積させて、薄膜を形成する方法です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

各種ターゲット、セラミック、装置改造、コーティング受託、他

価格競争力がつきます。品質に自信がつきます。どんなことで相談に応じます…

安価な各種蒸発材料、各種形状の材料を提供します。国内では競争ができないセラミック部材を安価に提供します。どんな形状でも引き受けます。 安価な石英ガラス材を多種形状で提供します。 真空装置の製作（電装系を含む）、改造など引く受けます。 真空蒸着、イオンプレーティング、各種スパッタリングによるサンプリング、受託加工を引きうけます。 めっき全般のサンプリング、受託加工、複雑な機械加工なども引き受...

メーカー・取り扱い企業： ＭＳリサーチ合同会社

PVD(物理蒸着処理加工)

自社開発PVD装置PAICシリーズを導入！除膜・再コーティングによる金…

当社が行っている『PVD(物理蒸着処理加工)』をご紹介いたします。 PVD処理は500℃以下で処理するため母材への影響が少なく、 除膜・再コーティングによる金型のリサイクルが可能。 当社では、AIP(アーク・イオン・プレーティング)連続式とバッチ式、 DLCはUBMS(アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング)方式を 採用しています。 【工法】 ■TiAlNコーティン...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社 本社

株式会社アドバンテック　事業紹介

確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。 半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。 さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンテック 愛媛本社