【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

空冷チラーの電力量低減に　チルドタワー

年間電力量の平均ＣＯＰ＝１７．３（カタログ記載）、発売から３０年、８０…

チルドタワーは間接外気冷却により１０℃～３０℃の冷水を、春夏秋冬、朝昼夜の外気条件に合わせた最適運転で年間を通して安定した冷却水を供給できます。またデータセンターなどの顕熱冷却の他、成形機、プレス機、真空蒸着機等の生産装置用冷却水供給用として様々な分野のお客様にご愛顧を頂いております。さらにチルドタワーはフリーク―リングを最大限利用しコンプレッサーの稼動を抑えることで、一般的な空冷チラーと比べ大幅...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プロテリアル　 配管機器統括部　

【事例】チラー導入事例集ー半導体・電子電気業界編/アピステ

スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに！

従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、 レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて イラストとともにご紹介。 ぜひ、ご活用ください。 【掲載内容】 ■真空蒸着装置の冷却 ■スパッタ・エッチング装置の冷却 ■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件 ■レーザー発振器の冷却 ■薬液タンクの温調 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ