小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アルカリ金属ディスペンサ

高純度のアルカリ金属を効率的かつ安全に蒸着！

サエスグループは30年以上に渡りアルカリ金属ディスペンサ（AMD）を提供をしています。 高純度のリチウム/ナトリウム/カリウム/ルビジウム/セシウム/（カルシウム）といったアルカリ金属を、効率的かつ安全に蒸着する方法を提案しています。 純粋なアルカリ金属は安定した塩の状態でゲッター材とともにAMD内に保持されています。 AMD内に含まれるゲッター材がアルカリ金属蒸発時に発生する不純物ガスを吸...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」

デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインさ…

MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。 ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid, PageSheet）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。 現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店