蒸着装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

PREVAC社製蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート

株式会社エイエルエステクノロジー　会社案内

高度な真空機器設計技術でお客様のアイデアをカタチとして実現！応用物理学…

ービスにてベストをつくしてまいります。応用物理学会月刊誌に公告掲載もしております。今後とも宜しくお願いいたします。【事業内容（抜粋）】 ■真空装置事業・有機デバイス研究用蒸着装置 ・昇華精製装置（トレインサブリメーション装置） ■計測装置事業・低エネルギー逆光電子分光装置（LEIPS装置） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

グローブボックス〜OLED・PLED・蒸着に〜ケーブラッシュ商会

リチウム電池・リチウムイオン電池・OLED・有機EL・PLED・薄膜・…

特　徴 ■システムは、アメリカで製造しています ■操作用インターフェースで操作は簡単 ■機器のアクセサリーは豊富で、各種サイズのシステムを供給 ■酸素・水分ともに1ppm以下の不活性ガス雰囲気を維持します ■精製カラムの再生を自動で行ないます ■用途に応じた特殊デザイン ■１９８１年より、グローブボックスの供給を行なってきた実績 ■高品質のガス・真空部品 ■溶媒精製装置を搭載でき...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。ブルックスインスツルメントのマスフ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

極細線用 2条型熱処理装置『SD-RW2F-N』

多様な巻姿に対応可能！高精度な制御技術と、先端の金蒸着透明電気炉

『SD-RW2F-N』は、安定した“張力制御と炉内温度”により好適な熱処理加工を実現する装置です。シンプルでスマートなシングルダンサ型張力制御の採用により、炉内搬送に必要な低張力を付与することが可能。精密なトラバース制御技術でフラット巻はもちろんのこと、台形巻きや大ピッチ巻など多様な巻姿に対応できます。【特長】 ■低張力制御：炉内搬送に必要な低張力を付与可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社株式会社エフ・エー電子株式会社エフ・エー電子

蒸着治具剥離用　エアーブラストマシン

スパッタリング､真空蒸着膜に威力発揮！

環境対策として薬品処理に替わる蒸着膜剥離装置です。 ...【特徴】 ○テ－ブル上で回転しながらノズルより粒子を対象物に吹き付ける ○対象物をセットした後、自動処理 ○粒子は循環して使用 ○キャビネットの中で処理しますので人体への影響がない ○乾式なので、薬品、水は使用しない ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッチュー

Zステージ　LMTシリーズ

各種コンポーネントを取り付け大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより　真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロー...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

真空スイッチ　（端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ）

精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適

電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線できます。取りつけは、フランジ型とネ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三和電機製作所

コンバ―ティング生産ラインにCMW広幅ウェブクリーナー装置

コンバ―ティング生産ラインで広幅装置をご検討のお客様へ

光学系フィルム（PET、TAC、PVA、PVC、PMMA等）の1600mm~2350mmの広幅ウェブでも安定した除塵を実現いたします。広幅ラインで懸念されやすいカーボン芯を使用することにより低慣性、高剛性、軽量化を実現。メンテナンス性等全てを考慮した広幅装置をご提案させていただきます。＜コンバーティングの技術領域＞コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤンゴージャパン

電池・バッテリーの詰め作業やパッキングに『グローブボックス』

真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。リチウムイオン電池などの全固体電池は、このようなグローブボックスの中で作られてます。大気の中で空気に触れると、粉体が反応または燃えるなど影響がありますが、その空気をある程度遮断することが可能のためです。粉を詰める詰め作業や、パッキングに適しています。【特長】 ■自社設計によ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

高密度除電処理システム

除電の限界をご存知ですか?隠れ静電気を根こそぎ除去

プラスチックなどの絶縁性材料の表面で観測される、正帯電と負帯電が細かく密に入り混じった帯電のことで、帯電模様とも言われます。製品の表面にコロナ放電処理をしたときや、成形品を型から抜いたときに生じる微細な放電によって生じることが多く、スタティックマークが残っているとホコリの付着、蒸着曇り、塗装ムラを引き起こします。スタティックマークで厄介なのは、「静電気測定器」で計測できないことです...

メーカー・取り扱い企業： NCC株式会社

真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定！】

真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能！今まで困難だ…

sec ■最大32チャンネルまでシステム構築 ■耐振動・耐環境性真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置例３：真空成形装置の金型近傍へ設置例４：真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDF...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所

クライオトラップTVPシリーズ

素早いポンプダウンと膜質の向上にお役に立ちます

素早い冷却、素早い昇温 蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。TELEMARKのTVPシリーズは最新の技術進歩を取り入れたクライオトラップです。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社