蒸着装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

真空蒸着サービス

他の追随を許さない技術でお客様に御満足いただける製品を提供いたします！

当社では、主にアルミニウム蒸着による自動車ランプのリフレクター・レンズ・装飾部品、さまざまな照明器具用の反射鏡、家電部品、ホビー等の蒸着をおこなっております。社内蒸着資格を持った技能員による条件設定と生産、標準作業遵守の励行により安定した高品質蒸着品を提供。蒸着技能員、塗装技能員、検査技能員の連携により、常に高品質な仕上がりを追求しつづけます。ご要望の際はお気軽...

メーカー・取り扱い企業：旭真空株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。【特長】 ■エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

真空蒸着メッキ加工サービス

仏具・玩具・アミューズメント部品・自動車部品への真空蒸着メッキ加工！

当社では、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱し、溶融・蒸発または昇華させ、基材や基板の表面に蒸発・昇華した粒子（原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する『真空蒸着メッキ加工』を行っております。仏具をはじめ、玩具、アミューズメント部品など様々な製品への加工を手掛けております。【主な加工品】 ■仏具 ■玩具 ■パチンコ部品 ■自動車部品 ■照明器...

メーカー・取り扱い企業：有限会社新正加工

FAD フィルタードアーク蒸着装置

新機能性薄膜開発に、次世代表面保護膜開発に

生産用フィルタードアーク蒸着装置 開発用小型フィルタードアーク蒸着装置：μT-FAD ta-C膜、水素フリーDLC他各種DLCを成膜可能金属膜、合金膜、窒化物、酸化物その他化合物膜に対応ドロップレットフリー、超平滑膜...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウエキコーポレーション

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチン...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

イオンプレーティング装置　「Jcoat -PVD-」

最先端をゆくカソードアーク方式のイオンプレーティング装置です。

イオンプレーティング装置『Jcoat -PVD-』は、PVD法には、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどがある中、最先端をゆくカソードアーク方式のイオンプレーティング装置です。また、切削工具の分野で実績の高いHCDホロカソード方式のイオンプレーティング装置をそろえて、お客様の多様なニーズにお答えします。【特長】 ○低温処理 ○強固な密着性 ○均一な被膜 ○複合...

メーカー・取り扱い企業：日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

イオンプレーティング成膜

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術か…

イオンプレーティング法は、真空蒸着法の発展型です。真空蒸着法と同じように、膜にしたい材料を真空中で蒸発（あるいは昇華）させ、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させます。イオンプレーティング法の特徴は、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、基板側にマイナスの電荷を印加することで、蒸発粒子を引き付けて基板上に堆積させて、薄膜を形成する方法です。 ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

『薄膜コーティングサービス』

素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工

東邦化研株式会社では、イオンプレーティングや真空蒸着に加えて、スパッタやP-CVDによる各種表面処理の受託加工を長年行っております。試作開発案件から、中・小ロットの生産案件までと、幅広く対応させていただいております。単金属、酸化物、窒化物、炭化物等、各種材料による薄膜形成のニーズにお応えいたします。【サービスの特長】 ■試作、小ロットにも対応 ■各種材料に対応 ■仕様・材...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

PVD(物理蒸着処理加工)

自社開発PVD装置PAICシリーズを導入！除膜・再コーティングによる金…

当社が行っている『PVD(物理蒸着処理加工)』をご紹介いたします。 PVD処理は500℃以下で処理するため母材への影響が少なく、除膜・再コーティングによる金型のリサイクルが可能。当社では、AIP(アーク・イオン・プレーティング)連続式とバッチ式、 DLCはUBMS(アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング)方式を採用しています。【工法】 ■TiAlNコーティン...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社本社

SEAVAC株式会社事業紹介

高度な技術と環境に配慮し、産業界のさまざまなニーズに対応します。

SEAVAC株式会社（旧社名は清水電設工業株式会社）は、熱処理装置メーカーとしてスタートし、現在は熱処理とPVDの受託加工、PVDおよび窒化処理装置の製造・販売を行っております。米国関連会社SEAVAC(USA)も含め、自社製コーティング装置を導入することで、品質向上と技術開発の相互作用を生み出し、高品質なサービスを提供することを可能としています。産業界の発展とともに、環境への配慮や高...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社本社

薄膜とは

膜の厚みがナノレベルのコーティング！材料を蒸発させたり叩き出したりして…

「薄膜」は、“はくまく”や“うすまく”と呼ばれ、一般的には膜の厚みがナノレベルのコーティング（被膜）を指します。真空装置の中で、膜にしたい材料（金属等）を蒸発させたり叩き出したりして被膜を形成。湿式めっきのように、めっき“液”を使用しないことから “乾式めっき”と呼ばれることもあります。当社保有装置では、「真空蒸着」「イオンプレーティング」「スパッタリング」「プラズマ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

表面処理

新しいデザイン表現にも対応可能！お客様の要求表現を実現し具現化します

日南では、塗装、印刷、レーザー彫刻、アルマイト処理などの表面処理を行っております。蒸着（スパッタリング）では、対象物を液体や高温に晒すことなくメッキ調の処理を施す乾式メッキ装置を使用し、メッキ調の処理を短納期・低コストで対応。また、縫製も行っており、布・皮革・糸の色や太さ・縫い目の表現まで、経験豊富な縫製職人が要求表現を具現化します。【表面処理】 ■塗装 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日南

表面処理部品の製造

導電塗装をはじめ電磁波シールド処理や製品の外観塗装など幅広く承ります！

等表面処理技術に新しい設備を導入し、お客様の多様なご要望にお応えしています。【設備】 ■真空蒸着機 ■ロボット塗装機 ■UV塗装設備 ■UV塗装クリーンルーム ■プラズマ重合蒸着装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：三協高分子株式会社