【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

有機EL用成膜装置

有機材料開発用成膜装置

【特徴】 ・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。 ・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。 ・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室において、基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

【XP Power社製】半導体製造用の高精度電源

豊富な製品群の高電圧電源、RF電源をラインアップ！半導体製造装置など様…

当社が取り扱う、XP Power社製の半導体製造用の高精度電源について ご紹介です。 XP Power社は様々なタイプの電源ソリューションを提案していますが、 その中には高電圧電源、RF電源といった特長的な製品ラインアップを 取り揃えています。 電気泳動、薄膜堆積、薄膜蒸着など様々な市場で幅広く用いられています。 【高電圧電源　特長】 ■低ノイズ、高い安定性 ■最大60...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社理経

リモートプラズマ源の世界市場シェア2023

リモートプラズマ源市場概要

市場促進要因: 半導体製造： 半導体産業は、リモート・プラズマ・ソースの主な応用分野のひとつである。半導体デバイスの小型化・複雑化が進むにつれ、洗浄、薄膜蒸着、表面処理などのプロセスで使用される高品質プラズマ源の必要性が高まっている。 新興技術分野： ナノテクノロジー、オプトエレクトロニクス、生物医学、エネルギー貯蔵などの新興技術分野でも、遠隔プラズマ源の需要が高まっています。これらの分野では...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社