小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

【ベアリング使用環境】真空環境

真空環境にグリースレスベアリングやフッ素グリース封入ベアリングが適して…

真空蒸着装置やスパッタリング装置など真空状態で動作する装置には、 基油の蒸発が少ないフッ素グリース封入ベアリングや グリースレスベアリングが適しています。 当社では、グリースが使用出来ない高温や真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社南海精工所

真空・高温用ボールベアリング

真空中で３５０℃まで使用できるボールベアリングです。ベアリング材料の金…

真空中での油性の潤滑剤の使用は困難です。そのため多くの真空機器（熱の掛かる蒸着装置など）は「無潤滑」と称して強引にＳＵＳのベアリングを回すか、銀や二硫化モリブデンをコーティングしたベアリングを使用しています。しかし、これらのコーティングの寿命は短く、短時間で剥がれてしまいます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アベニューマテリアル