小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【XP Power社製】半導体製造用の高精度電源

豊富な製品群の高電圧電源、RF電源をラインアップ！半導体製造装置など様…

当社が取り扱う、XP Power社製の半導体製造用の高精度電源について ご紹介です。 XP Power社は様々なタイプの電源ソリューションを提案していますが、 その中には高電圧電源、RF電源といった特長的な製品ラインアップを 取り揃えています。 電気泳動、薄膜堆積、薄膜蒸着など様々な市場で幅広く用いられています。 【高電圧電源　特長】 ■低ノイズ、高い安定性 ■最大60...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社理経

成膜用EB電源HPS-Nシリーズ

回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です…

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.