【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

真空蒸着とは

ほぼ真空にした空間で薄膜を形成する成膜技術！真空蒸着の原理についてご紹…

蒸発もしくは昇華した粒子を基板の表面に衝突・付着・堆積させて 薄膜を形成する成膜技術です。 当社では、発熱体の両端に電圧をかけ、流れる電流によるジュール熱で 加熱する抵抗加熱式の真空蒸着装置を採用しています。 【特長】 ■ほぼ真空にした空間で、金属などの蒸着素材を加熱 ■蒸発もしくは昇華した粒子を基板の表面に衝突・付着・堆積させて薄膜を形成 ■抵抗加熱式の真空蒸着装置を採...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業

グローブボックスー真空蒸着装置　真空搬送試料ホルダー

水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホル…

グローブボックスと真空蒸着装置の間に試料を大気に晒さずに真空搬送することができます。 特　徴： ・真空チャンバー構造を有する試料ホルダー ・コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能 ・グローブボックス中...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ

真空蒸着加工サービス

成形、蒸着の一貫ラインで高品質なモノづくりを確立しています。 塗装ブ…

当社では、真空蒸着加工を承っております。 2000年に品質管理の国際規格であるISO9001の認証を取得し、グローバル スタンダードレベルの品質管理体制を整えた工場内では、先進の検査機器を 導入するとともに､専門スタッフによる厳重な品質管理活動を展開しています。 品質基本方針において、より厳しい品質目標を設定し、それを実現することで お客様から高い信頼を得ています。 【主要...

メーカー・取り扱い企業： 川口真空株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

真空蒸着メッキ加工サービス

仏具・玩具・アミューズメント部品・自動車部品への真空蒸着メッキ加工！

当社では、真空中で金属や金属酸化物などの成膜材料を加熱し、 溶融・蒸発または昇華させ、基材や基板の表面に蒸発・昇華した粒子 （原子・分子）を付着・堆積させて薄膜を形成する 『真空蒸着メッキ加工』を行っております。 仏具をはじめ、玩具、アミューズメント部品など様々な製品への加工を 手掛けております。 【主な加工品】 ■仏具 ■玩具 ■パチンコ部品 ■自動車部品 ■照明器...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社新正加工

金属・金属酸化物・誘電体膜対応　薄膜コーティング

金属・金属酸化物・誘電体膜対応　薄膜コーティング

フォトファブリケーションを中心的技術として、 マイクロエレクトロニクス製品や光学製品をはじめとする様々な分野での 試作・開発に貢献するフォトプレシジョン社 『薄膜コーティング』のご案内です。 ほとんどの金属・金属酸化物をコーティングすることが可能！ ■□■特徴■□■ ■抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、スパッタリング装置を 　社内に保有 ■抵抗過熱真空蒸着 　...

メーカー・取り扱い企業： フォトプレシジョン株式会社

国内トップクラスの蒸着加工能力【OEM・受託生産】

開発・試作の小ロットから大量生産まで幅広い設備ラインナップと保証測定機…

国内２拠点を有し、ご希望する薄膜製品の安定した受託生産が可能です。 Φ1800型真空蒸着装置:多数 , Φ1300型真空蒸着装置:多数 , Φ850型真空蒸着装置:１台 , 低真空スパッタ機:１台 主軸となる真空蒸着装置は全機イオンアシスト機構を搭載した多層膜機で、試作用途に多用してい...

メーカー・取り扱い企業： 京浜光膜工業株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチン...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

【特徴】 　・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 　・低温で低エネルギー照射が可能 　・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 　・超硬工具用保護膜（c-BN） 　・食品用バリア膜（アルミ） 　・太陽電池用下地膜（アルミ） 　・光学用フィルタ膜（ZrO₂、AI₂O₃等） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...装置販売...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

吉城光科学の技術『蒸着』

限りない光への挑戦！反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで加工してい…

吉城光科学の『蒸着』技術をご紹介します。 反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで顧客ニーズに合わせ加工。 また、膜設計を自社で行いニーズに応えております。 オリジナルミラー(UHR)を創め、ガラス基板以外へのコーティングを 研究開発しております。 【主要設備（抜粋）】 ■真空蒸着機（AL） ■真空蒸着機（φ1300） ■真空蒸着機（φ1900）IAD ■真空蒸着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉城光科学 本社

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【洗浄事例動画】治具の金属蒸着

グラインダーで削るなど母材へのダメージを押さえた洗浄が可能！治具や加工…

動画の洗浄品 治具(材質：アルミ) 【洗浄メリット】 ■廃棄処理や騒音問題が無く、環境負荷に特化 ■洗浄時間や、除去後の処理などトータル工数の削減 ■ランニングコストは電気代のみ！(１Hあたり/＠10円以下) ■コンパクトサイズ！キャスター付で大型の洗浄物にも対応 ...基本情報【洗浄事例】金属蒸着 【レーザクリーニング装置の特長】 ■レーザー光による非接触のドライ洗浄 ...

メーカー・取り扱い企業： 東成イービー東北株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【表面処理】発塵防止付与　半導体製造装置関連

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸…

■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...

メーカー・取り扱い企業： 富士岐工産株式会社

イオンプレーティング成膜

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術か…

イオンプレーティング法は、真空蒸着法の発展型です。 真空蒸着法と同じように、膜にしたい材料を真空中で蒸発（あるいは昇華）させ、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させます。 イオンプレーティング法の特徴は、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、 基板側にマイナスの電荷を印加することで、蒸発粒子を引き付けて基板上に堆積させて、薄膜を形成する方法です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社