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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに!
従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、 レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて イラストとともにご紹介。 ぜひ、ご活用ください。 【掲載内容】 ■真空蒸着装置の冷却 ■スパッタ・エッチング装置の冷却 ■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件 ■レーザー発振器の冷却 ■薬液タンクの温調 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アピステ
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