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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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メンテナンスフリー!ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源
『KFMD-1』は、ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着をする 簡易蒸着源です。 ボート(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、 既存の装置への増設に対応可能です。 熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部への ダメージを軽減することができます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジI...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…
ただいま、高精度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動(Z軸) ■1軸・回転運動(φ軸) ■多軸...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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取り扱いが簡単!小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源
『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより 加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。 るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。 既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。 短時間での加熱、温度安定性にすぐれ、お手持ちの直流安定化電源で 簡単に動作できます。 小型で簡易設計の為、研究開発用途におす...
メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社
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