小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

●特徴 本装置は10-8Pa以下の超高真空中に置いた基板を加熱し、基板上に堆積させたい原料を独立に供給して基板上に結晶を成長させる真空蒸着法で、蒸発原料に固体を使用して分子線蒸着源（クヌーセン・セル）により原料の蒸発を行う固体ソースMBE装置と、原料に気体や有機金属を使用するガスソースMBE装置などがございます。...蒸着源には、弊社製金属蒸着セル（KMD-Cell）を搭載しております。また、他...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは 蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。 材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。 フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。 また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。 使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

ただいま、高精度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸） ■多軸...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社