小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』

メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

『KFMD-1』は、ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着をする 簡易蒸着源です。 ボート(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、 既存の装置への増設に対応可能です。 熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部への ダメージを軽減することができます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジI...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』

取り扱いが簡単！小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源

『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより 加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。 るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。 既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。 短時間での加熱、温度安定性にすぐれ、お手持ちの直流安定化電源で 簡単に動作できます。 小型で簡易設計の為、研究開発用途におす...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社