小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

成膜装置 複合型ＰＬＤ装置

民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応！半導体・液晶・プラズマデ…

70台以上の販売実績を誇る多目的ＰＬＤ装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。...【特徴】 〇豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能です。 〇他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが可能です。 〇最大φ2inchの基板サイズに対応します。 〇φ2inch対応ランプの採用により広範囲な圧力での実験が可能で...

メーカー・取り扱い企業： バキュームプロダクツ株式会社