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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応!半導体・液晶・プラズマデ…
70台以上の販売実績を誇る多目的PLD装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。...【特徴】 〇豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能です。 〇他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが可能です。 〇最大φ2inchの基板サイズに対応します。 〇φ2inch対応ランプの採用により広範囲な圧力での実験が可能で...
メーカー・取り扱い企業: バキュームプロダクツ株式会社
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