小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

高精度真空蒸着装置

360度回転／傾斜可能な試料ホルダ搭載で生産性が4倍に

基板状の試料表面に各種金属薄膜を成膜し、膜厚が正確に制御でき真空蒸着装置です。 膜厚依存性や蒸発レート依存性を調べるのに非常に便利な機能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ

粉体表面への真空蒸着装置

粒状や粉末タイプの試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置…

特徴】 ○当社発案のバイブレーション試料台を搭載し、試料を振動・回転させながら蒸着が可能。 ○粒子の回転により、粒子各面に均一な蒸着が可能で、蒸着斑が大幅に改善が可能。 ○お客様の既存の真空蒸着装置に、当社バイブレーション試料台と逆さま蒸発坩堝を組み込んで搭載させることも可能。 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ