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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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卓上小型サイズの高真空蒸着装置です。 カーボン蒸着・金蒸着・アルミ蒸…
★ VE-2013はVE-2030(弊社製)のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。 ★ TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取りません(RPは床置き)。 ★ 小型TMP+RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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EDS(EDX)・EPMA・XMA用導電処理・FIB用保護膜作成・カー…
VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火傷する心配はありません。 省スペース、低価格を実現。 ... 試料室サイズ=内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。 試料台サイズ=直径10...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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