小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

熱蒸着装置『EVAD シリーズ』

金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介

当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着

PLUMEシリーズのプラズマソースを搭載可能！PVDやPECVDプロセ…

当社では、カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着を取り扱っております。 ハイブリッドリアクター構成によりPVDやPECVDプロセスに対応。 大気開放せずCNTやグラフェン合成の全てのステップ処理を実現し、 基板表面クリーニング、バッファー層成膜、触媒層を含めた 合成ステップに対応しております。 【特長】 ■MAGNIONシリーズのマグネトロン装置に 　PLUMEシリーズのプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

MAGNION、FLARION、EVADシリーズ

シングル・マルチカソード対応！グローブボックスとのインテグレーションも…

『MAGNION、FLARION、EVADシリーズ』は、卓上薄膜蒸着及び プラズマ装置です。 マグネトロンスパッタPVD装置は、シングル・マルチカソード対応。 熱蒸着装置は、有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・ セル(K-セル)で、グローブボックスとのインテグレーションも可能です。 【特長】 ■マグネトロンスパッタPVD装置：シングル・マルチカソ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

中古半導体製造装置

中古半導体製造装置

弊社ホームページでFPD・半導体関連の中古設備情報を掲載しています。 中古装置のハイテック・システムズ！ 半導体製造装置のご相談は、ハイテック・システムズへ！...ハイテックシステムズは、以下の業務を行っています。 半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 ・主な取り扱い中古装置 　露光機（Ｓｔｅｐｐｅｒ、Ａｌｉｇｎｅｒ） 　ＣＶＤ装置、ＰＶＤ装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ