ウォーターベーパークライオポンプ

ターボポンプとの併用で真空度を大幅に改善！真空引き時間も大幅に短縮でき…

オポンプと異なり、別置きの大型ヘリウムコンプレッサやヘリウムラインが必要なく、コンパクトで低消費電力。半導体プロセス装置のロードロックチャンバー、トランスファーチャンバーやプロセスチャンバー、真空蒸着装置の真空補助ポンプとして最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム