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φ300ウェハに対応したマニュアル式のCMP装置です。MEMS・TSV…
シリコンウエハーの膜加工(CMP)や薄板加工を行うのに最適です。 膜種はLow-K膜用対応装置や導電体用装置、絶縁膜用装置があります。 ウエハー材料の薄板加工は別オプション装置により、30μm・50μmまで薄くしたWaferを単体で剥離す...
メーカー・取り扱い企業: テクノライズ株式会社
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多様な機能を備えることで製品品質を劇的に向上します!
【主な最終製品】 ■薄板 ■厚板 ■パイプ など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: スチールプランテック株式会社
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