新規次世代パワー半導体の研究開発拠点を開所

PR低損失化、高耐圧化、小型化の面で優位性を持つ、GeO2半導体の製膜事業…

株式会社クオルテック(本社：大阪府堺市、以下「クオルテック」)は、 「滋賀県立テクノファクトリー」内に、新規半導体材料を使用した パワー半導体の製膜における研究開発拠点を開所しました。 開所式にはクオルテックが本研究開発に関して資本業務提携し、 「琵琶湖半導体構想(案)」を推進する立命館大学発ベンチャー、 Patentix株式会社(本社：滋賀県草津市)も出席し、開所式を行いました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クオルテック

熱伝導放熱材料（TIM）

PR近年の電子デバイスの小型化、高集積化に伴う熱課題を解決するため、厚み方…

VB200は近年の電子デバイスの小型化、高集積化に伴う熱課題を解決するため、特殊エラストマーをベースに開発された熱伝導放熱材料（TIM）です。厚み方向（Z軸）に38W/m Kという優れた熱伝導率を有し、装着した電子部品の熱を効率良く伝熱します。加えて、特殊製法によって製造されるVB200は、液状の放熱材料の使用が想定される薄膜領域での製品提供が可能です。...・厚み方向（Z軸）への優れた熱伝導率　...

メーカー・取り扱い企業： ゼオン化成株式会社 高機能材料部

EPMAによる薄膜の膜厚分布測定

極小領域の膜厚測定が可能に！電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜…

当社ではEPMAによる薄膜の膜厚分布測定を行っております。 薄膜の膜厚測定は主に蛍光X線法やX線反射率法で行われており、X線を入射源と しているためある程度の広い測定領域の平均的な膜厚しか測定できませんでした。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

技術情報誌The TRC News「エリプソメトリーを用いた薄膜の光学定数及び膜厚の評価」 【要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

《 特殊表面処理 》　メッキでは無い！極薄膜や複合膜　等

「極薄膜」「複合積層」「薬液に依存しない無機物」を表面処理加工できます…

【出来る事】 　「極薄膜」　　最薄　数nm～から可能 　「複合積層」　複数物質を積層可能（最大50層程度） 　「非浸食」　　母材表面を非浸食で表面処理可能 　　その他、メッキ処理などでは得られない特殊条件で加工致しま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大正光学

ナノテック表面分析センター　受託試験

薄膜表面の機械的特性評価は、薄膜プロセスのキーポイント！

：摩擦係数の評価、耐摩耗性の評価 ○膜厚測定 ○表面粗さ測定 ○分光エリプソメトリ:膜厚、光学定数の評価 ○EDX分析:摩擦摩耗試験やスクラッチ試験後の試験痕の確認 ○RBS/HFS測定:薄膜を構成する元素の定性・定量評価 ○XRR測定:膜厚・膜密度の評価 ○ラマン分光分析:DLC膜の結晶状態の評価 ○FT-IR測定:赤外線透過率、赤外線反射率の評価 詳しくはお問い合わせフォ...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

技術情報誌 202101-04 陽電子によるバリア膜や分離膜評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

満の空隙）構造の評価が重要になる。そのため、分子レベルの空隙を評価する技術が求められ、陽電子消滅寿命法は強力なツールとなる。本稿では、polyethylene terephthalateおよびシリカ薄膜に対し、陽電子消滅寿命法と他手法を協奏的に活用することで、サブナノ空隙構造と気体輸送特性の関係にアプローチした例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．陽電子消滅寿命測定の原理 ３　結晶化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 201901-01 Ga2O3膜の分析評価技術

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 SiCやGaNより大きなバンドギャップを持つ酸化ガリウム（Ga2O3）は新たなパワーデバイス材料として注目されている。デバイス応用に向けた薄膜成長技術の発展とともに、Ga2O3薄膜の分析評価技術の重要性は益々高まると考えられる。本稿では、サファイア基板上に作製したGa2O3膜の結晶構造解析、および不純物、欠陥評価を行った事例について紹介す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

XPSによるバンドギャップの簡易測定

XPSを使用して簡易的に測定することが可能！酸化物系以外の半導体もお問…

アイテスでは、『XPSによるバンドギャップの簡易測定』を行っています。 半導体や絶縁物の中で、比較的バンドギャップが広い物質や薄膜の バンドギャップを、XPSを使用して簡易的に測定することが可能。 β-Ga2O3のバンドギャップをO1sのピークを使用して測定を行った際は、 O1sのピーク位置とバンドギャップによるエネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

受託分析・ＳＥＭ観察受託

受託分析・ＳＥＭ観察受託

各種材料・薄膜の評価試験をナノレベルで実現した最高の測定精度 ツールテック東北社『受託分析・SEM観察受託』 ■□■特徴■□■ ■nano　Hardness　Tester・・・硬さ・ヤング率 ・...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ツール・テック東北

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

グによる任意形状加工が可能 （通常加工サイズ：～20μm程度） ・SEM・SEM-STEM・TEM像観察用試料作製（特定箇所の断面出しが可能） ・微細パターン（数μm～数十μm）のデポジション薄膜形成が可能（C・W・Ptの成膜） ・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM（Scanning Ion Microscope）像観察が可能 ・SIM像で金属結晶粒（Al, Cu等）の観察が...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

密着性・傷つきやすさの評価 - スクラッチ試験

　測定レンジの異なる3種類のスクラッチ試験機により、密着性や傷つきやす…

【評価項目】 ・薄膜の密着性の評価 ・ペイント、塗膜などの傷つきやすさの評価 【関連規格】 ・ISO20502:Fine ceramics (advanced ceramics, advanced techn...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

受託測定　依頼測定ご利用条件

レーザーを用いた非接触で熱拡散率を測定。熱を使ったデュアルモード観察が…

→測定対象：固体材料 →試料外形：□１０ｍｍ　ｔ＝３ｍｍ以内（それ以外は要相談） →表面形状：鏡面研磨が必要（微小粒子の場合は包埋が必要） →表面処理：スパッタが必要 →参照試料 　　　薄膜の場合は、基板上の薄膜の測定 ○熱物性測定装置　サーモウェーブアナライザ　ＴＡ３ →測定対象：固体材料 →試料外形：□２０ｍｍ　ｔ＝０．１ｍｍ以上（それ以外は要相談） →表面形状：極端な凹凸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【受託分析・受託試験事例】マンガで新材料強さ試験の価値をご紹介

薄膜・界面・材料表面の強さの精密計測を実現。新技術でのイノベーションは…

パルメソには材料に関するさまざまなお悩みが寄せられています。 ・薄膜のみの強さが知りたい ・多層膜や傾斜膜の強さの分布が知りたい ・界面の強さの変化が知りたい ・劣化の度合いや分布を知りたい ・プロセスの最適化に向けての情報がほしい ・これまでの試験法でわ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パルメソ

表面解析サービス

表面解析サービス

表面形状および付着元素の概要の把握に最適 ○AES分析装置 　・分析領域：深さ方向：1nm、観察視野：104倍 　・深さ方向の分解能がnmオーダーレベルであり 　 　極表面の分析および薄膜の分析に最適 ○XPS分析装置 　・分析領域：深さ方向：数nm、観察視野：5mmφ 　・深さ方向の分解能がnmオーダーレベルであり 　 　観察視野は、AESより広いが、元素の結合状態の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＨＩ検査計測

イオンミリング装置による受託サービス｜JTL

機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。

材料の結晶を観察する際に化学エッチングを行い、金属組織を出すことが通常ですが、本装置のアルゴンイオンエッチング作用により、結晶状態の観察や結晶方位解析用の断面試料調整を行うことが可能です。 【薄膜・多層膜・合金層の高倍率観察/分析が可能】 ・通常の機械研磨では厳しい、薄膜や多層膜、合金層の高倍率（100,000倍程度まで）観察、分析に耐えうる研磨面仕上がりを得ることが可能です。 ・試料へ...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

［XRR］X線反射率法

XRR：X-ray Reflectivity

のことです。 試料にX線を極浅い角度で入射させると、入射角 が臨界角より小さいときは入射したX線はすべて反射（全反射）されます。入射角を徐々に大きくしていき、入射角が臨界角より大きくなると、X線が薄膜中に侵入し、反射X線の強度が小さくなります。 さらに入射角を大きくしていくと、薄膜表面で反射したX線と各界面で反射したX線が互いに干渉し、振動プロファイルが観測されます。このようにして得られた反射...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【受託分析・受託試験】MSE試験とは

受託分析・試験で薄膜や材料の表面強さを精密に測る新しい方法。従来の試験…

械的特性（強さ）試験法です。 2つの独創的特徴があり、一つは「表面から内部まで連続した強さ分布」が取得できること もう一つは「硬くて脆いなど材料の2面性特性の可視化」です。 これまで難しかった薄膜やフィルム及び表面処理の強さ分布を簡単に取得可能で材料評価や 設計品質保証などに役立ちます。 【開発の目的】 MSE試験は材料表面の精密な機械的特性（強さ分野）を計測するために開発された技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パルメソ

《 薄膜加工 》　各種真空蒸着装置による受託加工・測定分析！

コート条件や蒸着材をご指定いただいての受託加工による真空蒸着（コーティ…

【蒸着加工したいが、装置が無い！伝手も無い！】 研究者や大学関係者から「社内装置が占有されてしまい加工できない」 「装置導入の目途が無い」ため、加工断念される場合があります 【真空蒸着受託加工の流れ】 　◎お客様：「蒸着材（支給可）」「蒸着条件」等をご指示ください 　　　　　 　加工後の保証条件や、測定・分析条件等も確認致します 　　　　　 　未定の部分は、後々決めて参ります ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大正光学

分析・観察前の試料調整の受託サービス｜JTL

各種試料調整装置により観察・分析に必要な前処理を実施します。

各種の観察・分析の前に必要とされる、切断・樹脂包埋・断面研磨・エッチング・蒸着・薄膜加工・試料溶解などの試料調整を実施致します。 特に研磨に関しましては、様々な材質・形状・目的に合った手法にて研磨が可能ですので、まずはご相談下さい。 観察・分析をお客様にて実施される場合、試料調...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

薄膜・細孔径分布測定装置 パームポロメーター

お客様のご要望に合わせた製品サービスのご提供をいたします。

25年以上にわたり、常に最新の装置をご提供してまいりました。最先端のハイブリッドカー、電気自動車/燃料電池車、電池、半導体などで応用される多孔質材料の評価を一手にお任せいただける技術集団であることを自負し、お客様のご要望に合わせた製品サービスのご提供をいたします。...ポロメーターとは、フィルター、セパレーターのフィルタリング性能、捕集率、液体/気体透過性に関わる貫通細孔径分布の測定を行うことが可...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

【測定事例集】熱伝導率測定

レーザー/キセノンフラッシュ(LFA)や定常測定法(TIM)などの測定…

表”も掲載しております。 ぜひご一読ください。 【掲載事例(抜粋)】 ■レーザー/キセノンフラッシュ(LFA) ■ホットブリッヂ(THB) ■ヒートルフローメーター(HFM) ■薄膜試料(TFA) ■定常測定法(TIM) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本サーマル・コンサルティング

絶対PL量子収率測定

絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。

つまり材料の発光効率を求める手法です。 ・分光器付きの励起光源を用いているため、様々な波長（約350～800nm）での励起が可能 ■MSTの特徴 ・装置は雰囲気制御下で管理されているため、薄膜サンプルについては酸素の影響を受けずに測定することが可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【測定事例】　アルミナフィラーの分布測定　【TM3】

数十㎛サイズのアルミナフィラーを分布測定！！　フィラー単体での熱伝導性…

が評価できることで、フィラーを利用した素材あるいはセラミックスの原料としての粒子や最終製品であるセラミックスのさらなる性能向上が期待できます。当社のサーマルマイクロスコープＴＭ３を使うことによって、薄膜の熱伝導率（100nm～）、微小領域の熱浸透率（3μm～）の測定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

［XAFS］X線吸収微細構造

XAFSは、物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルを解析する…

・試料中の着目元素周囲の局所構造（原子間距離、配位数）や化学状態（価数、配位構造）の評価が可能 ・環境（高温・高圧・雰囲気）を問わず、測定が可能 ・様々な試料形態（固体・液体・気体、薄膜、非晶質物質など）の測定が可能 ・適用可能な濃度範囲が広い（主成分元素から微量元素まで） ・非破壊測定 ・測定方法によっては、バルクだけでなく、表面敏感な測定も可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

摩擦摩耗試験／トライボロジー試験の受託サービス｜JTL

各種機能部品の摩擦摩耗試験から、摺動面の表面性状の分析など幅広くサービ…

ング/ライナーなどを想定した試験 □フレッティング試験：電気接点などを想定した試験 ■ブロックオンリング試験：潤滑油、潤滑油添加剤、固体潤滑剤などを想定した試験 ■スクラッチ試験：軟質膜、硬質薄膜などを想定した摩擦摩耗、密着性評価 ■カスタマイズ試験 □リングオンシリンダー試験：ピストン/シリンダーなどを想定 □クラッチプレート試験：クラッチ/プレートなどを想定 □ブレーキプレート試...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

画像測定サービス｜JTL

微小な部品や薄膜製品などの非接触二次元測定・評価を実施します。

本サービスでは、画像測定機と画像測定プローブを利用した非接触による二次元測定を実施致します。 画像測定機（NEXIV）ではレーザーを用いて、非接触での高さ測定、輪郭形状（倣い）測定、プログラム自動測定、多点測定等の寸法測定・各種評価を行うことが可能です。 画像測定プローブ（QVP）では三次元測定機のプローブヘッドに装着することで、大型サイズの印刷物やフィルム状の製品等、通常の画像測定機では測定...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

ます。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。 ・微量元素（ppbレベル）から主成分レベルまでのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料、及び補助電極を用いることで半導体材料、絶縁物材料も分析が可能 ・質量分解能が高く、妨害イオンの除去が可能 ・水素と希ガスを除く、Ｌｉ以下のほとんどの元素について測定が...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

FE-EPMAによる受託サービス｜JTL

電界放出型電子プローブマイクロアナライザ（FE-EPMA）による微少領…

す。 EDXによる元素分析よりも定量精度が良く（±数100ppm～数1,000ppm）、汎用型のEPMAよりも分析の空間分解能が良い（サブミクロンオーダー）ことが特徴です。 厚みが数100nmの薄膜の断面分析や、接合部分の微量元素の拡散状態の分析などにご利用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

【受託分析・試験事例】寿命設計は劣化度の正確な測定から

ものつくりは地球にサステナブルな国際目標SDGｓに多大な制限を受けます…

としてMSE試験法を開発しました。 【MSE試験でできること】 ・セラミックス・金属・樹脂・ゴム材料を同じ尺度で比較できる ・硬さ（ヤング率）モードや靭性（脆さ）モードの特性も可視化 ・薄膜多層膜等の表面から内部までの連続した分布データを取得 ・応用して、材料の劣化のよる機械的特性の低下度も精密に試験可能 様々な材料開発プロセス開発の高速スクリーニングや 材料強さのDB作成に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パルメソ

分析『二次イオン質量分析』

優れた測定が可能にする分析手法です！

【アプリケーション】 ■ドーパントプロファイル評価 ■薄膜組成分布評価 ■表面・断面の元素面分布評価 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター