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故障箇所→拡散層評価を含めた物理解析/化学分析までスルー対応いたします…
解析技術を培ってきました。 Si半導体だけでなく、話題のワイドバンドギャップ半導体も対応可能です。 【特長】 ■OBIRCH解析ではSiだけでなく、SiCやGaNデバイスにも対応 ■表裏どちらからでもFIB加工可能 ■PN接合部に形成された空乏層を可視化 ■EDS、EELS分析といった元素分析も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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回転させたウエハ端面(エッジ)をラインセンサで撮影し、数ミクロンオーダ…
検出フィルタ ■回転蛇行補正 ■検査レシピ設定用リアルタイムシミュレータ ■Dヴューア 【製品仕様】 ■対象サイズ: 200~300mmウエハ端面(エッジ)および、端面近傍表裏面(ニアエッジ) ■分解能:3μ~10μ/画素 ■解像度: カラー:(2300~7500)×300000×3[画素] 白黒: ( 320~1024)×300000[画素] ■対象...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社横浜総合研究所
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