組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【真空チャック】エアロフィックス

真空チャックの新しい時代を告げる決定版です！　部分吸着が可能なので、さ…

結性を制御するもので、ワークに最適な気孔径および気孔率に調整します。また、製造工程で完全焼結するので、内部からの発塵がなく､使用環境に影響を与えません。 これまでは、ワークの形状に合わせたチャック装置の設計･製造が必要でしたが、部分吸着が可能な「エアロフィックス」は、さまざまなワークサイズに対応します。ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率の向上をかなえます。 均...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社