高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

PRエア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

『KPWシリーズ』は、高圧ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

KNF プロセスポンプ【※関連カタログ進呈中】

PR脱炭素関連、新エネルギー関連の研究開発用プロセスポンプ！ CO2、水素…

脱炭素社会、新エネルギー開発において、従来のガスポンプでは対処しきれない多くの技術的課題があります。 KNFプロセスポンプは下記の特長を活かして技術的な課題解決に貢献します。 燃料電池及び評価システムをはじめ、脱炭素関連や新エネルギー関連の研究開発企業や研究機関でご利用いただけます。 【主な特長】 ◆コンタミフリー ◆豊富な接ガス材質 ◆加圧特化仕様　許容最大吐出圧 1.2 MPa ポンプ選定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケーエヌエフ・ジャパン KNF JAPAN

真空スイッチ　（端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ）

精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適

真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で密封したものを使用している為気圧の変動を受けにくい構造になっています。 電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所

端子台付防水型真空スイッチ　SVS-18

一般回路はもちろん、真空包装・真空吸着装置等の到達又は、 破壊真空度…

堅牢なアルミダイカストのカバ−を用いた端子台付防水型真空スイッチです。 【特長】 ■単極双投接点を備え、設定圧力の 　上限、下限において同時にON-OFFの2点制御信号が得られ 　必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■真空検出素子には、多段ベロ−ズを使用 ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 　開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所