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今後の超薄板製品対応が可能!上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯…
当製品は、広幅12mmディスクを適用及びローラーの 間隔25mmピッチを適用したジェットスクラバー機です。 最小0.06mm(コア)超薄板製品の移送及び処理対応が 可能になるよう設計。 今後の超薄板製品対応が可能です。 【特長】 ■上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯角に設計 ■均一な噴射が可能 ■駆動部は設備維持補修が容易いように設計 ■最大の回収率を具現す...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ラットコーポレーション 本社:営業部・業務部
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【デモ機貸し出し可能!】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4~12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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