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【デモ機貸し出し可能!】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4~12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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