半自動等倍露光装置（セミオートマスクアライナー）

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送ユニット搭載の半自…

当製品は、半自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。 基板を1枚毎にセットし、 基板セット後，搬送～露光を自動で行う装置です。 フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。 従来の手動でギャップ調整を行うという煩雑な作業が一切不要です． また，超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

手動等倍露光装置（マニュアルマスクアライナー）

簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送系が無い低価格手動…

当製品は、手動一括等倍露光マスクアライメント装置です。 基板を露光ステージにセットし、露光を行う装置です。 ウエハを露光ステージへ手動でセッティング。 面倒なフォトマスクとウエハの平行調整やギャップ調整は自動で行います。 また，超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ソフト、ハードコンタクトにも対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズインチ兼用自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）

サイズ切替が容易なウエハ2サイズ兼用オートマスクアライナー。簡単設定、…

当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。 φ3、4インチ　φ4、６インチなどの2サイズのウエハが兼用可能です。 切替作業は、非常に簡単。3つの部品を交換するだけでOK。 搬送ロボットの微調整など一切不要です。 更にフォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行い、 製造工程における段取り替え時間を大幅に削減可能です。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ