2サイズインチ兼用自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）エイ・エス・エイ・ピイ

サイズ切替が容易なウエハ2サイズ兼用オートマスクアライナー。簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント。

当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。

φ3、4インチ　φ4、６インチなどの2サイズのウエハが兼用可能です。
切替作業は、非常に簡単。3つの部品を交換するだけでOK。
搬送ロボットの微調整など一切不要です。
更にフォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行い、
製造工程における段取り替え時間を大幅に削減可能です。

超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。

ソフト、ハードコンタクトにも対応。

マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。

【特長】
■複数基板サイズ対応
■段取り替えが容易
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■超精密UVWステージ搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報2サイズインチ兼用自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）

【主な仕様】
■マスクサイズ：□3"～□7"
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6",
■カセットステージ：2組
■センタリングユニットオリフラ自動位置合わせ機能付き：1組
■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応可能
■オートアライメント機能搭載(FAST社製)
■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください ※5～6ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。