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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…
『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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オークラ輸送機『マグネット駆動コンベヤ』【静かでクリーンな搬送】
非接触の駆動メカニズム!低発塵・低騒音・省エネ・メンテナンスフリー!静…
『マグネット駆動コンベヤ』は、マグネットの磁力の反発原理を活用し、非接触でローラを駆動させました。これにより駆動箇所の摩耗を無くし、発塵を抑えたクリーンな搬送を実現しました。また磁気の安全性に配慮した構造をしており、搬送物は磁気の影響をほとんど受けません。 【特長】 ■低発塵 マグネットの磁力を利用して非接触でローラを駆動するため、発塵を抑えたクリーンな搬送が実現しました。 ...
メーカー・取り扱い企業: 大喜産業株式会社
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